項目名稱:蘇州晶瑞化學股份有限公司
項目系統:廢氣處理控制系統
廢氣處理模式:活性炭凈化
項目介紹: 蘇州晶瑞化學股份有限公司是一家生產銷售微電子業用超純化學材料和其他精細化工產品的上市企業。品種包括氫氟酸、過氧化氫、氨水、鹽酸、硫酸、硝酸、異丙醇、冰醋酸、混合酸(硅腐蝕液、鋁腐 蝕液、鉻腐蝕液、BOE、金蝕刻液)氫氧化鉀、氫氧化鈉、配套試劑等。目前主要產品的純度為,單項金屬雜質含量小于0.1ppb。產品廣泛應用于超大規模集成電路、LED、TFT-LCD面板制造過程、太陽能硅片的蝕刻與清洗。
參與的配套產品:變頻控制柜、PLC控制柜、防爆箱、上位機組態監控系統。
本次項目昆山川浦機電有限公司作為優秀控制柜配套廠商,參與了廢氣處理系統的設計與制作。
本次廢氣處理系統為活性炭處理系統
控制設備主要有提升泵、循環泵、加藥泵、風機、電動閥、電磁閥等
本次項目采用了西門子S7-200PLC系統,確保整套廢氣處理系統穩定的運行。
圖控系統(SCADA)功能包括所有設備啟 /停、系統設定值改變、控制 /監視重要參數、趨勢圖、實時警報、歷史數據記錄、統計及打印。
圖控軟件:亞控組態王6.55
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